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濺射靶材和濺射鍍膜的制造原理


濺射板材是目前二十一世紀(jì)工業(yè)基礎(chǔ)不可或缺的精密合金材料,在很多領(lǐng)域?yàn)R射靶材發(fā)揮著重要的作用,無論是高純度濺射板材、非金屬單質(zhì)靶材、合金靶材、化合物靶材都在各大行業(yè)應(yīng)用廣泛,融入目前科技發(fā)展的最基礎(chǔ)研發(fā)領(lǐng)域,可以說濺射靶材無處不在;

濺射(Sputtering)鍍膜技術(shù)利用離子源產(chǎn)生的離子,在高真空中經(jīng)過加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發(fā)生動能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面而形成薄膜材料。被轟擊的固體原料是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。

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濺射靶材具有高純度、高密度、多組元、晶粒均勻等特點(diǎn),一般由靶坯和背板組成。

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濺射靶材的分類;

按使用的原材料材質(zhì)不同,濺射靶材可分為金屬/非金屬單質(zhì)靶材、合金靶材、化合物靶材等。濺射鍍膜工藝可重復(fù)性好、膜厚可控制,可在大面積基板材料上獲得厚度均勻的薄膜,所制備的薄膜具有純度高、致密性好等優(yōu)點(diǎn),已成為制備薄膜材料的主要技術(shù)之一,濺射靶材亦已成為目前市場應(yīng)用量最大的PVD鍍膜材料。

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濺射鍍膜和真空蒸發(fā)鍍膜是最主流的兩種PVD鍍膜方式,PVD技術(shù)是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一, 用于制備薄膜材料的物質(zhì)被稱為PVD鍍膜材料。經(jīng)過多年發(fā)展,PVD鍍膜技術(shù)被廣泛用于應(yīng)用于電子、光學(xué)、機(jī)械、建筑、材料等領(lǐng)域。


新時(shí)代,新技術(shù)層出不窮,我們關(guān)注,學(xué)習(xí),希望在未來能夠與時(shí)俱進(jìn),開拓創(chuàng)新。


標(biāo)簽:   濺射靶材 濺射板材分類 合金靶材
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